曝光裝置發(fā)光強(qiáng)度光量強(qiáng)度可通過UV-M03A簡單的測量，小巧方便。

可以方便的測量紫外線發(fā)光強(qiáng)度和光量。

受光器，根據(jù)靈敏度以及測試范圍有UV-25,35,42可供選擇。在半導(dǎo)體，液晶用基板的制造的工序中請選UV-SD25,UV-SD35,UV-SD42；在電子電路(印刷)基板的制造工序中請選用UV-SN25,UV-SN35,UV-SN42。

測量數(shù)據(jù)，可通過RS-232C接口連接到PC

同時(shí)還具有模擬輸出。

◆關(guān)于SD型和SN型

　SN型由于承蒙從以前使用本公司制的曝光裝置和照射裝置等被的顧客寬廣地采用的東西，確保著經(jīng)過管理的繼續(xù)性。
　SD型在半導(dǎo)體和液晶用基板的制造流程的現(xiàn)場，已經(jīng)使用的顧客，如果被重視跟那些的測量器的數(shù)據(jù)的兼容性確保的(本公司制的曝光裝置在投影型曝光裝置和液晶基板用周邊曝光裝置SD型也被采用)，*被新規(guī)章變成發(fā)光強(qiáng)度計(jì)等為使用的顧客著其他公司制的發(fā)光強(qiáng)度計(jì)

技術(shù)參數(shù)

UV測量器受光器光譜靈敏度特性